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              真空退火爐的快冷操作方法

              點擊次數:   更新時間:22/08/19 13:53:08     來源:www.suresis.com

                真空退火爐在使用中升溫結束后,進入冷卻階段,這時可以選擇自然冷卻,或者是采用快冷的方法,具體需要根據工藝而定,當選擇采用快冷時,具體的操作方法如下。
                1、按工藝要求調整充氣壓力表的上、下限,調整風機控制壓力表的上、下限,在無紙記錄儀上調好風機啟動溫度。
                2、按步驟關閉各真空泵、閥。擴散泵閥→擴散泵→預抽閥→真空閥→羅茨泵→滑閥泵。
                3、按“充氣閥”、“確定”,充氣閥打開,向真空退火爐內充入高純的N2或Ar(純度≥99.999%)當爐內壓力接近充氣壓力上限時,關“充氣閥”,打開“微充閥”,直到充氣上限為止。


               

                4、當達到設定的風機啟動溫度后,按“風機”、“確定”風機啟動,爐溫快速冷卻。
                5、若熱交換器及風機出水溫度較高,應適應調大其供水閥,以利縮短冷卻時間。
                6、當真空退火爐爐溫達到100℃以下,關閉風機,打開擴散泵上部的手動閥,排出爐內氣氛,直至爐壓與大氣壓平衡,方可打開爐門,取出產品。
                真空退火爐需要采用快冷方式進行操作時,一定要提前對操作程序有所認識和了解,這樣才能更好的達到效果,以免操作失誤對產品以及設備造成傷害。

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